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深度分析!2021年中国半导体光刻胶市场发展现状分析 晶圆厂扩建驱动增长、光刻胶国产化任重而道远

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20 郑晨 • 2021-09-23 12:00:41  来源:前瞻产业研究院 E120072G1

中国光刻胶行业主要上市公司:飞凯材料(300398)、容大感光(300576)、广信材料(300537)、上海新阳(300236)、永太科技(002326)、雅克科技(002409)、江化微(603078)等。

本文核心数据:中国半导体光刻胶市场格局,中国半导体光刻胶市场规模,本土半导体光刻胶企业产能情况等。

1、半导体光刻胶随集成电路线宽的缩小而演变

光刻胶按下游应用分类,可分为半导体光刻胶、面板光刻胶和PCB光刻胶。在集成电路制造过程中,光刻和刻蚀技术是精细线路图形加工中最重要的工艺,决定着芯片的最小特征尺寸,占芯片制造时间的40%-50%,占制造成本的30%。

半导体光刻胶随着市场对半导体产品小型化、功能多样化的要求,而不断通过缩短曝光波长提高极限分辨率,从而达到集成电路更高密度的集积。为适应集成电路线宽不断缩小的要求,光刻胶的波长由紫外宽谱向g线(436nm)→i线(365nm)→KrF(248nm)→ArF(193nm)→F2(157nm)的方向转移,演进路线如下:

图表1:光刻技术与集成电路发展的关系

2、国内市场规模稳步增长、ArF胶和KrF胶是主流

当前,中国已是全球最大半导体消费国家,2020年市场规模占全球比重为34.5%,光刻胶作为半导体制造的核心材料之一,对半导体光刻胶的需求也不断增长。据美国半导体协会的数据显示,在此之中中国半导体光刻胶市场从2015年的1.3亿美元增长至2020年的3.5亿美元,同比增长约为40%。

图表2:中国半导体市场占全球比重、中国半导体光刻胶市场规模

从我国半导体光刻胶的市场结构来看,2020年,ArF光刻胶占比40%;KrF光刻胶占比39%;G/I线光刻胶占比20%。

图表3:2020年中国半导体光刻胶市场结构(单位:%)

3、中国半导体光刻胶需求主要由外企满足

半导体光刻胶属于光刻胶高端产品,受技术限制,当前,我国半导体光刻胶需求主要由外资企业来满足,2020年,外资企业的市场份额达71%。

图表4:2020年中国半导体光刻胶市场竞争格局(按企业性质)(单位:%)

从不同光刻胶产品的自给率来看,目前适用于6英寸硅片的g线、i线光刻胶的自给率约为20%,适用于8英寸硅片的KrF光刻胶的自给率不足5%,而适用于12寸硅片的ArF光刻胶基本依靠进口,光刻胶国产化任重道远。

图表5:2020年中国半导体光刻胶自给率情况(单位:%)

4、本土企业可量产i/g胶、KrF胶

由于半导体光刻胶的技术壁垒较高,我国布局相关技术的本土企业较少。其中,北京科华、上海新阳和徐州博康均布局了i/g line胶、KrF胶和ArF胶技术,但暂未有1家企业布局EUV胶技术:

图表6:中国半导体光刻胶本土企业技术布局情况

从本土企业的产能情况来看,截至2021年上半年末,可量产i/g line胶的企业包括北京科华、晶瑞电材;可量产KrF的企业有北京科华;而其余产品目前基本无可量产的企业:

图表7:2021年H1末中国大陆半导体光刻胶厂商产能情况

从领先企业的产能情况来看,目前,我国有北京科华、晶瑞电材等企业可实现半导体光刻胶的量产,其中,

图表8:2021年H1末中国大陆半导体光刻胶厂商产能情况

此外,在本土企业中,北京科华是唯一被Semicon列入全球光刻胶八强的中国光刻胶公司,2020年北京科华光刻胶销售8928万元,是中国销售额最高的光刻胶公司。其中,公司的i线光刻胶产品销售额5495万元,占中国i线光刻胶销售额的16.7%;KrF(248nm)光刻胶销售286万元,是唯一可以批量供应KrF光刻胶给8寸和12寸客户的本土光刻胶公司。

图表9:2020年北京科华光刻胶产品收入情况(单位:万元)

5、国内晶圆厂产能不断扩张、光刻胶国产化进程任重而道远

晶圆厂产能扩张是半导体光刻胶需求增长核心驱动力。根据SEMI的统计数据,中国大陆晶圆厂产能市场份额从1995年1.7%提升至2020年22.8%,成为第一大晶圆生产国。而据预测,2021-2022年,中国将有另8座晶圆厂开工建设,占全球比例近1/3。

图表10:中国晶圆厂在全球的地位(单位:%)

在现有8寸和12寸晶圆产线中,90-14nm产能占比最大增速最高,而在晶圆厂新建生产线中以90-28nm制程节点为主,能够应用于该制程的光刻胶为ArF胶,但目前,我国仅有少数企业成功研发了ArF胶,暂无可量产ArF胶的企业。

可见,未来几年,随着国内晶圆厂产能扩张和集中建设,国内半导体光刻胶需求仍将快速增长,但目前,本土企业的技术研发仍待突破,国产化进程任重而道远。

以上数据参考前瞻产业研究院《中国光刻胶行业市场前瞻与投资规划分析报告》,同时前瞻产业研究院还提供产业大数据、产业研究、产业链咨询、产业图谱、产业规划、园区规划、产业招商引资、IPO募投可研、招股说明书撰写等解决方案。

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