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邀请演讲离子注入机的工作流程可以分为以下六个步骤：原材料在离子源部分产生带正电的杂质离子；杂质离子由负性引出电极析出；离子群在质量分析仪中的磁场进行筛选，选出后续注入工艺所需的掺杂离子束流；掺杂离子束在电场中进行加速，使之具备足够的动能注入到硅片的晶格结构中；掺杂离子束流扫描整个硅片，使硅片表面得到均匀掺杂；热退火过程修复晶格，激活晶格结构中的杂质离子。
目前，全球离子注入机市场规模为10亿美元左右，从全球竞争格局上看，应用材料长期以来占据了70%以上的市场，除此之外，美国的亚舍立科技发展迅猛，市场分额也在不断增加。
图表2:全球离子注入机市场格局
资料来源：前瞻产业研究院整理
按照设备所使用的离子能量和离子束电流大小可将离子注入机可分为高能量、高电流、中低电流三种。高能量注入机的离子束具有较高能量，一般可达到500keV以上，但掺杂浓度较低，主要用于材料衬底的深阱掺杂。高电流注入机能获得较大的离子束电流，该设备掺杂浓度大，但由于离子能量较低，因此其注入深度较浅，该设备主要用于器件的源漏区掺杂和LDD区掺杂。中低电流注入机应用比较广泛，该设备的离子能量和束流大小分别远小于高能量注入机和高电流注入机，被广泛应用于除深井掺杂和源漏掺杂以外几乎所有的离子掺杂工艺。目前，低能大束流占有离子注入机市场的55%。从大束流离子注入机整体格局看，主要由三家龙头企业掌控。应用材料收购Varian公司成为老大，占有40%的市场份额；其次是Axcelis，占有32%的市场份额；第三家是AIBT，占有25%的市场份额，前三家企业包揽了97%以上的市场份额，行业高度集中。
图表2:低能大束流离子注入机市场分额
资料来源：前瞻产业研究院整理
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